Литографическая система УФ-нанопечати от EV Group для производства светодиодов
Компания EV Group, ведущий поставщик литографического оборудования для рынков МЭМС, нанотехнологий и полупроводников, представила EVG720 – автоматизированную литографическую систему УФ-нанопечати (UV-NIL).